激光干涉儀測量前的調整方法

更新時間：2021-12-13 點擊次數：897

　　激光干涉儀是一種高精度、高測量范圍的測長儀，由于其優良的性能，被廣泛地應用于多種場合，特別是對長、大位移的測量。對于長度的測量，一般200米以上的測量都是一般的長度測量，3m以下的長度測量是3m,3~200m的測量稱為大尺寸測量。在一般長度測量中，被廣泛使用。可在室內進行恒溫、恒濕、防震的量塊、標尺、標尺、坐標測量儀等。還可在普通車間對大型機床進行標定，既能測量幾十米長，又能測量手表零件等微小運動，不僅能測量長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何尺寸。是科學研究、光刻機、數控機床、艦船等行業都離不開的光學尺子，用于測量零部件的尺寸，角度，位置，直線性，也是檢定各類數控機床、激光加工機床以及光刻機臺的精度，進行誤差補償的基本儀器。

　　隨著智能制造技術的發展，檢測已經成為生產過程中越來越重要的一部分，位移檢測是檢測手段之一。一般來說，設備的檢測精度應達到加工精度的3倍以上。如果要以3微米的精度加工，其檢測精度至少應小于1微米，因此激光干涉儀已經成為智能制造設備的關鍵部件之一。

　　但是，由于激光測量系統測量時與一般的自準直儀不同，下面就來具體介紹下調整方法：

　　1.調光束平行于被測軌道。

　　(1)將反射鏡座和分光鏡座放置在被測軌道上，分光鏡的高度放置在可調節范圍的中間，調整高度，雷射頭與反射鏡、分光鏡大致保持在同一高度。

　　(2)激光頭的左右擺動是根據反射鏡上光點在Y方向的偏移來調節的。在Y方向的鏡面上，光點不會偏移。

　　2.調節鏡子和反射鏡的鏡面垂直于激光束。

　　(1)調整反射鏡的高度，使激光頭上孔發出的光束反射后全部返回雷射頭(孔內指示燈亮)；

　　(2)放置分光鏡，覆蓋反射鏡，調整分光鏡的高度，使激光頭上孔發出的光束通過分光鏡后全部返回(指示燈亮)；

　　以上就是小編為大家介紹的激光干涉儀的相關內容，希望對大家能有所幫助。