一、引言

隨著現(xiàn)代制造業(yè)的飛速發(fā)展，機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性已經(jīng)成為衡量一個(gè)國(guó)家制造業(yè)水平的重要標(biāo)志。為了滿足高精度、高效率的加工需求，新型的測(cè)量與校正技術(shù)不斷涌現(xiàn)。其中，激光干涉儀作為一種高精度、非接觸式的測(cè)量工具，在機(jī)床精度檢測(cè)與提升方面發(fā)揮著越來越重要的作用。

二、激光干涉儀的工作原理

激光干涉儀利用激光的干涉現(xiàn)象進(jìn)行測(cè)量。當(dāng)兩束相干光波相遇時(shí)，它們會(huì)產(chǎn)生干涉現(xiàn)象，形成明暗相間的干涉條紋。通過測(cè)量干涉條紋的移動(dòng)，可以精確地計(jì)算出光路長(zhǎng)度的變化，從而得到被測(cè)對(duì)象的位移、角度等參數(shù)。

在機(jī)床應(yīng)用中，激光干涉儀通常與機(jī)床主軸或工作臺(tái)相連，通過測(cè)量主軸或工作臺(tái)的位移，實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床加工精度的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與調(diào)整。

三、我司激光干涉儀SJ6000的功能特點(diǎn)

    1. 測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

    2. 具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測(cè)功能。可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測(cè)量。

    3. 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

    4. 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線）及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。

    5. 內(nèi)置各種類國(guó)標(biāo)（GB）、ISO（）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測(cè)量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

    6. 可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

    7. 測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。

    8. 安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。

四、激光干涉儀的發(fā)展趨勢(shì)與挑戰(zhàn)

隨著科技的不斷進(jìn)步，激光干涉儀在機(jī)床應(yīng)用中的性能將不斷提升，測(cè)量精度和穩(wěn)定性將得到進(jìn)一步提高。同時(shí)，為了滿足復(fù)雜加工環(huán)境的需求，激光干涉儀將向更高速度、更高分辨率、更強(qiáng)抗干擾能力的方向發(fā)展。

然而，在實(shí)際應(yīng)用中，激光干涉儀仍面臨一些挑戰(zhàn)。例如，如何克服環(huán)境因素（如溫度、濕度、振動(dòng)等）對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；如何在保證測(cè)量精度的同時(shí)降低成本；如何進(jìn)一步提高測(cè)量速度和實(shí)時(shí)性等。這些問題的解決將有助于提高激光干涉儀在機(jī)床應(yīng)用中的普及率和實(shí)用性。

五、結(jié)論

總之，機(jī)床激光干涉儀作為一種高精度、非接觸式的測(cè)量工具，對(duì)于提升機(jī)床加工精度和穩(wěn)定性具有重要意義。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用需求的不斷提高，相信未來激光干涉儀將在機(jī)床領(lǐng)域發(fā)揮更大的作用，為推動(dòng)制造業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展作出更大的貢獻(xiàn)。