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SJ6000激光干涉儀精密測(cè)量?jī)x器的測(cè)量軟件可以將線性測(cè)量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。

中圖儀器GTS激光跟蹤儀設(shè)備將干涉測(cè)長(zhǎng)的及時(shí)修正速度與絕對(duì)測(cè)距功能相結(jié)合，保證測(cè)量精度，并實(shí)現(xiàn)擋光恢復(fù)。在斷光時(shí)會(huì)在小范圍內(nèi)自動(dòng)搜索到目標(biāo)球，完成斷光續(xù)接，自動(dòng)鎖定目標(biāo)球，全過(guò)程不需人為操作，提高測(cè)量效率。

SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀器結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

GTS激光跟蹤測(cè)量?jī)x將干涉測(cè)長(zhǎng)的及時(shí)修正速度與絕對(duì)測(cè)距功能相結(jié)合，保證測(cè)量精度，并實(shí)現(xiàn)擋光恢復(fù)。不僅可以對(duì)靜止的空間目標(biāo)進(jìn)行高精度三維測(cè)量，還可以對(duì)運(yùn)動(dòng)的目標(biāo)進(jìn)行跟蹤測(cè)量。

SJ6000激光干涉測(cè)量?jī)x在數(shù)控機(jī)床精度測(cè)量方面，豐富的模塊化組件可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。是一種用傳統(tǒng)測(cè)量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)。

中圖儀器激光干涉儀器設(shè)備采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強(qiáng)，降低了對(duì)環(huán)境條件的要求，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車(chē)間條件下測(cè)量大距離用。