中圖儀器機床激光干涉儀sj6000采用進口高性能氦氖激光器，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。儀器具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

在機床激光干涉儀sj6000動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

功能特點

1、精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2、功能廣

（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。

3、軟件強

（1）友好的人機界面；

（2）豐富的應用功能模塊；

（3）向導式的操作流程；

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

4、標準多

內(nèi)置13份標準，包含GB、ISO、英標、美標、德標、日標等國內(nèi)外通用標準。可依據(jù)各種不同的機床標準分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

激光干涉儀對機床精度再校準

任何機床加工設備，在長時間的使用都會由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發(fā)生。一般出現(xiàn)這種情況時，就需要使用激光干涉儀進行精度的再校準，SJ6000激光干涉儀可同時測量出機床的螺距誤差值和反向間隙（又稱背隙），通過精度再校準，加工精度會大大提高。

激光干涉儀在機床維修后的重新測量和補償

當機床大修過后，裝配上的精度和位置都有變化，此時就需要再重新進行螺距誤差補償。

在安裝絲桿中，絲桿鎖緊螺母擰得很緊，絲桿預拉過大，絲桿將被拉長，螺距變長，這在起點處影響較小，但在接近終點處因螺距積累誤差，將會產(chǎn)生較大的位置誤差。同樣預拉過小，也會發(fā)生螺距變小。

在裝絲桿軸承座時，一定要將錐銷敲到位，否則絲桿整體與導軌不平行，螺距變小，此時就可以通過SJ6000激光干涉儀來測量，進行正確的螺距誤差補償，使設備精度達到要求。

激光干涉儀對機床定期檢測、補償

隨著數(shù)控機床的不斷使用，機床不斷產(chǎn)生磨損，精度就會產(chǎn)生變化，此時就需要對機床進行一個定期的維護保養(yǎng)，延長機床使用壽命。首先維護保養(yǎng)機床的幾何精度，其次是定位精度，這時候就需要激光干涉儀進行檢測補償。

部分技術指標

主機

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動態(tài)采集頻率：50 kHz

預熱時間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)

角度測量范圍：±10°

平面度測量范圍：±1.5mm

直線度測量范圍：±3mm

垂直度測量范圍：±3/M mm/m

便攜箱尺寸：613*460*230mm

標準配置重量：18kg

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