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中圖儀器SuperViewW系列3D光學檢測儀器具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。滿足減薄后晶圓表面大范圍多區域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。

SuperViewW系列3d輪廓儀白光干涉儀是以白光干涉技術原理，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

SuperViewW1光學粗糙度輪廓儀一體機基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

SuperViewW1光學三維輪廓測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。數秒內可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。

VJ系列3d線激光輪廓測量儀搭配高精度線激光測頭，結合高精度圖像分析算法，無接觸掃描3D輪廓成像，實現尺寸的快速精確測量。CNC模式下，只需按下啟動鍵，儀器即可根據工件的形狀自動定位測量對象、匹配模板、測量評價、報表生成，真正實現一鍵式快速精準測量。

SuperViewW1光學輪廓儀測表面粗糙度的儀器具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，可對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。