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VT6000材料共聚焦顯微鏡測量系統以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

在材料生產檢測領域中，中圖儀器VT6000白光共聚焦顯微鏡在陶瓷、金屬、半導體、芯片等材料科學及生產檢測領域中具有廣泛的應用。

中圖3D共聚焦顯微鏡VT6000是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。在半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

中圖儀器VT6000系列共聚焦光學顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

中圖儀器VT6000共聚焦高分辨率顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

在材料生產檢測領域中，共聚焦工具顯微鏡測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。