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VT6000超分辨率轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密縱向掃描等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，是實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

VT6000國產(chǎn)轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高，擅長微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè)，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

VT6000共聚焦工件表面微觀形貌檢測(cè)顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中，測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

VT6000三維光學(xué)輪廓共聚焦材料顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，可對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器VT6000共聚焦晶圓溝槽輪廓尺寸測(cè)量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。

VT6000高分辨率共焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，主要采用3D捕獲的成像技術(shù)顯微成像測(cè)量，具有較高的三維圖像分辨率。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。