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SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀測量系統(tǒng)非接觸式、高精度的特點(diǎn)使其適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動系統(tǒng)，不僅僅局限于運(yùn)動導(dǎo)軌，還可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

SJ6000導(dǎo)軌運(yùn)動精度激光干涉診斷校準(zhǔn)儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。它采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000激光切割機(jī)精度激光干涉校準(zhǔn)儀線性測長精度0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm，在數(shù)控機(jī)床、激光切割機(jī)等行業(yè)廣泛應(yīng)用。

SJ6000設(shè)備直線度激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。它結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

中圖儀器SJ6000機(jī)床精度激光干涉測量儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償。

SJ6000高靈敏度機(jī)床激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。